北京大学厦门创新研究院

微纳米技术研究所以单晶硅、金属（Ti，Cu）等材料的微纳加工技术为基础，把体材料与薄膜加工工艺相结合，以NEMS为基础的生物传感器在DNA高通量测序领域的应用和微纳米材料在微流体和通信器件等领域的应用等为目标，目前的主要研究方向包括：
    1、MEMS/NEMS及其在生物领域的应用研究：
    
     蛋白质单分子场效应晶体管是一种纳米尺度的单分子生物器件。该器件通过单个生物大分子的电导变化来反映其构象的动力学变化，从而实现其生物学活性的监测。蛋白质单分子场效应晶体管作为未来可能的分子信息传感的核心器件，产生巨大的社会和经济效益。我们在蛋白质单分子场效应晶体管结构的基础上，探索蛋白质单分子场效应晶体管原型器件结构的微纳制备工艺，采用NEMS工艺的方法实现其器件的制备，有效提高产品的一致性，降低成本，有利于批量生产。
    
    2、二相流导热散热技术
     半导体器件和设备日新月异的发展同时带来其自身的一些新问题需要解决，比如导热散热问题就是其发展和寿命的重要瓶颈问题之一。目前国内在LED路灯、芯片（组）、通信基站和高铁监测系统等半导体器件的散热系统中有着迫切需求。我们采用国际领先的二相流散热技术来解决半导体器件散热导热方面的瓶颈问题，对芯片较集中的应用领域（如雷达、云计算、数据中心等）的散热需求可提供有效的散热方法和措施。