| 需求分类： | 智能装备-其他自动化装备-其他 |
|---|---|
| 行业类别： | 电子信息-微电子、电子信息-硬件/数码、电子信息-电子元器件 |
| 需求预算： | 面议 |
| 截止日期： | 无期限 |
| 发布时间： | 2022-11-23 |
1. 我司由于扩充产能需求需购置一台光阻去除机
2. 机台技术内容如下:
a) 工作原理及工艺流程:
b) 工作原理：将光罩传送到湿制程腔体，利用SPM和TMAH将光罩上的光阻和脏污去除。
3. 工艺流程：
a) 传送机器人将光罩传送到腔体；
b) 利用腔体内的SPM对光罩上的光阻进行溶解氧化去除处理；
c) 利用腔体内的TMAH去除残留光阻和有机脏污；
d) 完成后由传送机器人将光罩、传出到装载端口。
4. 功能：利用化学溶剂将光罩上的光阻去除。
5. 用途：专用于光罩生产中光阻去除。