因我公司设备需求增加SECS-GEM通讯软件，以实现与我公司系统交互及设备智能控制，故提出此需求。
要求：
1：符合SEMI标准通讯协议规范（具体参考半导体SEMI标准）；
2：根据我方需求制定软件通讯内容；
3：软件售后服务需要保证；
智能制造服务热线：0592-5380947
运营商：厦门科易帮信息技术有限公司
增值电信业务许可证：闽B2-20100023 闽ICP备07063032号-5