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晶圆预定位系统

需求分类：	智能装备-其他自动化装备-其他
行业类别：	机械-光机电一体化
需求预算：	35万元
截止日期：	2022-10-10
发布时间：	2022-08-22

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技术需求内容

1：晶圆预定位；

2：兼容6-12寸晶圆（100mm-300mm）;

3：兼容Notch和平边定位；

4：透明或非透明晶圆定位；

5：支持IPC通讯；

6：独立电气控制系统；

7：其他面议。

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