在半导体制造中,工艺参数的微小波动可能导致芯片性能缺陷或良率下降。为实现精细化管控、降本增效、增强市场竞争力,计划通过对统计过程控制,实时的监控、数据分析和自动化预警,减少人为失误,提升质量与效率。
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