半导体生产过程智能控制系统

本项目旨在为开发、部署、维护和使用半导体生产过程智能控制系统，本项目应包含如下三个子系统：设备自动化程序系统、故障检测和分类系统和统计过程控制系统。

设备自动化程序，是生产系统中最底层、最基础的部分，介于MES (生产执行系统) 与生产设备之间。该系统打造全面产线信息传输体系，实现对产线机台的实时监控和控制，是实现工厂自动化和智能化、提高生产效率及产品良率不可缺少的系统，是FAB中最为关键的系统之一。该系统应可以为未来新一代工厂大数据和AI系统提供强大的支撑。

故障检测和分类系统，是Fab核心系统之一，是监控生产过程的重要手段。该系统应基于实时采集设备生产过程中的传感器和事件数据，利用大数据技术构建完善的设备数据仓库，通过统计分析和AI混合判断引擎，连续监视设备参数是否出现异常，从而实现高效设备状态监控和预测，并提供设备运维策略。

统计过程控制 ，是监控生产过程的重要手段。该系统通过收集过程和测量数据并使用统计分析方法，提供预检测异常点和报警功能。