能自动获取光学膜厚和光学常数的智能测量装备

1.测量设备要求技术参数 1.1 光谱范围：380-1000nm

1.2 入射角：固定角度65°

1.3 光斑大小：大光斑2-3mm；微光斑200μm

1.4膜厚重复性测量精度：优于0.01nm（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）

1.5 折射率重复性测量精度：优于0.0005（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）

1.6折射率绝对精度：±0.009（100nm 硅基SiO2薄膜）

1.7 膜厚测量范围：0.5nm-15μm

1.8 单点测量时间：≤10s

1.9光源：高性能进口卤素灯光源（工作寿命：2,000h）

2.软件要求：可视化样品显微对准系统

2.1光谱测量能力

2.2数据分析能力：备单层、多层各向同性/异性膜厚、光学常数（折射率、消光系数）分析能力

2.3支持常用光学常数模型以及常用振子模型（柯西模型、洛伦兹模型、高斯模型等），并支持图形化多振子混合模型拟合功能

3.服务要求

3.1硬件保持期至少一年

3.2 测控与分析软件：终身免费升级

3.3 为用户提供全面充分仪器操作与数据分析培训

3.4提供终身免费数据建模与分析技术支持，为用户提供样件材料光学常数标定与模型库升级服务