DBR镀环自动上下料设备

产品介绍：

本设备为DBR蒸镀前段组立设备，应用于研磨后晶圆片在DBR制程镀环孔里的自动取放片，适用于DBR站。

主要特点

1. 采用 Wafer 搬运机器人；  

2. 非接触式 Pre Aligner；

3.悬浮式非接触真空吸盘；

4.Wafer ID Reader（可选）；

5.自动镭刻码读取，可片源追溯；

6.镀环放片自动侦测学习。

DBR镀环自动上下料设备