详细介绍
导片机：可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统采用了高性能机械手臂和校准器，符合SEMI标准（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）Aligner具有Buffer功能，能够实现晶圆的更换动作，提高了设备的Throughput配备ID Reader，能够读取晶圆的ID信息（晶圆正反面对应为选配）上述标准规格之外，以下规格的产品也可以定制：
4 FOUP对向摆放（Throughput为400片/h）
4 FOUP的inline类型（Throughput为600片/h）
可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统采用了高性能机械手臂和校准器。
运营案例
东电化电子元器件(珠海保税区) 有限公司
