详细介绍
介绍：本设备兼容8寸 open cassette和12寸FOUP或FOSB,可实现自动开门关门，用于辅助料盒wafer无触碰快速装卸。
适用范围：适用卡塞规格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31。
主要功能：
1. 放置标准(Mounting): SEMI E63
2. 开启方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open
3. 平台高度标准(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63
4. 内置凸片、叠片以及斜插Mapping功能
5. RFID自动识别
6. 操作安全防护报警
7. 封闭式作业环境
设备用途：Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口.
运营案例
设备用途：Load Port被安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口.
