故障检测和分类系统（IKAS-FDC V1.0）

       埃克斯工业（IKAS）研发的故障检测和分类系统（IKAS-FDC V1.0），基于大数据等相关技术能够连续监视设备参数是否出现异常，从而实现高效设备状态监控和预测，并提供设备运维策略，最大程度地提高设备效率，减少和消除了计划外的停机及由此造成的产量偏差，进一步降低由设备问题造成的质量问题和生产损失，提高产线资产整体运行效率，提升设备利用率。

1.服务客户

    本案例应用方是一家领先的纯模拟晶圆专工企业。

2.服务内容及成效

    集成IKAS-PDM 模块，对Tool Fault/Alarm、Metrology、PM和Trace等多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力；通过系统自带数据分析监控模块实时了解机台的状况、自动监控设备参数，系统取代人工管理机台，对异常情况提供快速干预方案，将影响控制在wafer level以避免计划外停机和产品性能影响；对机台数据深度挖掘，通过数据为工程师提供判异标准，建立对应数据库，大幅提高工程师定位和分析设备问题、机台差异、生产批次差异等效率，提高工程师团队效率和工作质量，进一步提高设备工艺生产力。