详细介绍
AI质检和量测系统（I-SMS-SEMI V1.0）是一款基于国际领先人工智能视觉技术开发的新一代半导体生产质量检测、缺陷分析、问题归类、目标量测、良率管理和预测系统，可以有效解决复杂产品差异化缺陷的定位、检测、分类等，同时支持工艺实验流分析决策，帮助工程师轻松选取数据样本，多维度、多源缺陷分析、过程统计监控等，加快良率学习效率，助力产业智能化升级。
运营案例
1.服务客户
本案例应用方是国内某领先半导体企业。。
2.服务内容及成效
埃克斯工业为该厂商提供的AI质检和量测解决方案是一款基于国际领先人工智能视觉技术开发的新一代半导体生产质量检测、数据分析、问题归类系统。配备了先进的人工智能视觉技术，具备当前最完善的AI质检软硬件体系，实现了模型高效构建，有效缩短上线部署时间；通过将传统质检和量测设备采集的芯片图像传入推理服务器进行AI影像分析，系统快速便捷地对芯片缺陷进行自动标注、分类和溯源，对关键图形尺寸进行精确量测，并将知识和经验集成于智能化系统中， 形成完善的溯源、 缺陷应对体系；与产线现有生产系统深度整合，可根据业务需要对产线设备参数进行调整(RtR)、对生产进行干预(OCAP)，最终建立了一个完善的AI质检生态体系，实现智能化缺陷分析、溯源，高效良率管理和预测，显著减少了对人工的依赖，从而实现：
（1）提升defect识别精度数倍，漏检率可达到3ppm，显著提升缺陷识别效率，助力产品质量提升；
（2）实现完整质检生态，通过高效软硬件体系大幅度缩短检测时间，提升问题定位效率指数级提升，显著节约成本；
（3）降低人工成本高达95%，避免人为误差，提高企业质检效率；
（4）提高缺陷识别模型生成效率高达90%，显著提升新产品、新工艺导入效率。
