1、接收客户生产线自动天车传送的晶圆存储盒,收纳入晶圆存储盒仓储系统。
2、接收客户生产线人工传送的晶圆存储盒收纳入晶圆存储盒仓储系统。
3、仓储智能系统自动分配最佳仓储位置。
4、经由信息交互系统同时接受多笔命令, 仓储系统自动判断最佳路径,实现快速出入库功能。
5、具备自动盘点晶圆存储盒功能
属于新产品,可以运用于半导体晶圆厂储存晶圆
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