详细介绍
全自动Wafer传送，可用于12寸wafer进行PA、ID Reader、宏观检测、微观检测，半导体各生产设备的上料、下料，FOSB、FOUP相互交换等，适用于晶圆切割前的光学检测。
主要功能：
1.自动AOI检测；
2.兼容SEMI标准 200~300mm Bare Wafer；
3.CMOS Camera，分辨率7.3um/pixe@0.75x；
4.视场 FOV15*15mm @0.75x，自动调节倍率；
5.支持行/列/矩形区域检查;
6.支持戳痕/漏墨/油污/脏污/裂纹/墨点/崩边等AOI检测；
7.支持SECS/GEM通讯；
8.全局晶圆MAP/Review功能
主要配置
·双臂Wafer搬运机器人，非接触Pre Aligner，Wafer ID Reader，高像素金相显微镜，XY全自动E-Mapping 导引检测。
运营案例
苏州胜视
