详细介绍
晶圆装载与检测组件设备:WST200 SMIF可以在90秒或更短的时间内将200mm晶圆从SMIFpod转移载到加工工位。该系统还可用于将晶圆装载到无SMIF环境中的加工工具中。占地面积并小；并且独立运行。带有末端执行器的可编程机械臂可以将晶圆倾斜到垂直位置，可容纳多种加工工具。WST200 SMIF都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的接口板和独立的地板支架，可以在12分钟或更短时间内与任何加工工具重新连接。专内置微型环境和气流控制系统有助于保护晶圆不受污染，同时机器人在SMIF和工具之间转移晶圆。具有自动防故障装置的特性，包括Pod现有传感器，晶圆突出传感器，过载传感器，恒定力矩直流步进电机(带有编码器反馈)精确和可靠的运动控制。
运营案例
中芯国际
