微波等离子体化学气相沉积系统

微波等离子体化学气相沉积系统，即MPCVD系统作为优异的金刚石沉积设备，其工作原理为通过微波源产生微波，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体呈球状形成于衬底上，发生复杂的物理化学反应，实现以微米级每小时的速率沉积工具级金刚石膜、热沉级金刚石膜、光学级金刚石膜、单晶金刚石等。

服务客户：化合积电(厦门)半导体科技有限公司

服务内容：提供微波等离子体化学气相沉积系统用于CVD金刚石热沉片、圆晶级金刚石衬底、金刚石氮化镓等材料的制备生长，填补了国内市场空白。助力客户成为作为产学研合作标杆，引领行业前沿科技创新，获“厦门市超宽禁带半导体材料与器件重点实验室”称号。