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FOUP自动化设备

服务商：	韦森特（东莞）科技技术有限公司
类型：	设备
类别：	智能装备-其他自动化装备-其他
来源：	自主研发
技术水平：	国内先进
知识产权：	无

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详细介绍

FOUP自动化设备:用于FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率。

运营案例

广东东电化广晟稀土高新材料有限公司

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