详细介绍
IC载板大靶面三次元高精度测量机，基于光学影像测量系统，配合高精度运动机构和花岗岩龙门式底座，实现了测量精度、速度、稳定的完美结合；依托高精度图像分析算法与闪测原理，在测量范围内，不同位置、任意姿态摆放工件，设备都可自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、生成报表，实现快速精准测量。
设备采用高远心度的双侧远心镜头和高分辨率线阵扫描相机，搭配分辨率0.1m的光栅系统，以微米级的检测精度和200mm/s的检测速度，对大靶面IC载板实现精度高、速度快的高质量检测。同时，设备可对在测量视野内的任意多个同规格产品同时进行测量，全面助力企业产线的智造转型。
产品优势
01稳定性高
采用高精度运动结构、花岗岩龙门式底座，保证设备高稳定性。
02速度快
超大测量行程（620x540mm-920x840mm），测量速度200mm/s，移动速度500mm/s。
03柔性化
支持2D、3D测量，光学系统自动对焦；配置底光、线光、同轴光多种程控光源，适应不同测量需求。
04测量高效
在测量视野内任意放置同规格多个产品，无需治具或夹具，即可同时对各产品进行测量。
05精度高
采用高远心度的双侧远心镜头和高分辨率线阵扫描相机，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，检测精度可达微米级。
06操作简单
软件操作简单，支持CAD图纸导入、三轴全自动编程检测，实现自动匹配检测、批量检测内置数据统计分析功能，帮助客户分析改善制程。
