详细介绍
先进过程控制系统（IKAS-APC V1.0）技术作为在生产装置级的信息化应用，在优化装置的控制水平和提高生产过程的管理水平的同时，还为企业创造了可观的经济效益。先进过程控制系统（IKAS-APC V1.0）技术已成为当今半导体制造不可或缺的基石，在化合物半导体器件领域中也都起着重要作用。该系统能够实时优化制程参数，预测机台的变化，从而提高机台运行的平稳性，最大限度地提高产品产率、降低消耗，增加经济效益。
运营案例
1.服务客户
本案例应用方是是国内龙头LED芯片厂商。
2.服务内容及成效
本案例基于APC技术，为化合物半导体器件领域的关键设备—MOCVD提供的智能制造解决方案，结合厂商MOCVD设备现状、当前生产技术需求、以及未来智能化发展方向，为厂商的关键生产设备提供一款新一代化合物半导体智能制造生态系统，该系统整合了新一代人工智能、大数据技术和多种可选模块，针对该厂商的外延 process进行全面建模，配备了多个高性能功能模块，同时兼具丰富的延展性，可通过DigiTwin、Big Data等对生态进行不断升级，从而有效提高了MOCVD工位生产效率和产品综合良率，实现了：
（1）100%取代人工计算和调参，100%避免由于人为因素造成的产品质量和良率问题，该方面年成本节约在数百万以上。
（2）节约90%以上人工成本。
（3）提升产品良率5-15%。
（4）实现系统化数据高效管理，有效提高了生产效率和产品综合良率。
（5）在优化装置的控制水平和提高生产过程管理水平的同时，为企业创造了可观的经济效益。
