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服务商产品需求
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    光谱椭偏仪

    服务商: 武汉颐光科技有限公司
    类型: 设备
    类别: 智能装备-其他自动化装备-其他
    来源: 自主研发
    技术水平: 国际先进
    知识产权: 发明专利,实用新型专利,软件著作权,国际专利,无

    详细介绍

    本设备基于双旋转补偿器调制技术一次性获取退偏指数、Psi/Delta、N/C/S等光谱。适用于大尺寸晶圆片单层或多层薄膜的膜厚及光学常数的自动Mapping绘制测量。

    运营案例

    三安集成、中芯国际、舜宇光学、长江存储、华星光电

    智能制造服务热线:0592-5380947

    运营商:厦门科易帮信息技术有限公司     

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