量子点材料关键性能开发

一、技术需求说明：
在4英寸蓝光LED芯片晶圆表面制备量子点膜层，使蓝光芯片发出的蓝光经量子点，可转换为绿光和红光。
二、企业现有工作基础：
公司现有25台MOCVD，包括16台Vecco C4机台，8台 Vecco K700机台和1台Aixtron R6机台及全套的GaN基LED芯片产线，可实现月产10万片/4寸蓝光LED芯片的规模。
三、开发的量子点材料需要达成如下指标：
1、可靠性能提升：以50A/cm^2驱动电流，Tj=115℃，湿度85%为例，光衰≤10%@1000小时。
2、光转换效率提升：对绿光（515-55nm波段）和红光（600-630nm）的转换效率分别＞40%，＞50%。
3、在厚度≤5.0um下，漏光率≤0.1%。
4、可通过光刻工艺均匀涂敷于晶圆表面，制作出所需图形，图形线宽的分辨率≤5um。

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