光刻胶涂布机/显影器研究与开发
截止时间：
2021-05-19
行业分类：
新型材料
发布时间：2020-05-19
投入预算：450 万元
联系人：徐经理
福建厦门市
需求简介
•涂布机-数量2/显影机-数量2•晶圆尺寸：200mm•104英寸独立式机柜•4个串联臂和1个90SE串联臂•尼康B11 / 12步进器的后拉接口•208伏，三相，星形，60 Hz•SECS I / II接口•1个带有Tefzel涂层的3加仑加压罐，带Kalrez O形圈和4个液位传感器•不锈钢，无涂层，2加仑，Kalrez O形圈，2个液位传感器，化学柜中的DOT罐
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