下游(客户)或实验室,工艺产品技术验证应用(12 寸设备、涂胶显影、黄光制程)。要求达到的技术性能、参数指标:20-65MM 制程工艺,集成电路半导体,黄光制程。其他要求:实验室支持,高校合作,资金等。
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