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对KLA A2OO晶圆检测机进行相关改进升级等相关服务

截止时间： 2020-04-10 行业分类： 电子信息 发布时间：2019-04-10 投入预算：400 万元 联系人：徐经理 福建厦门市
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需求简介

对KLA A2OO晶圆检测机相关技术进行改造升级的技术服务。改造晶圆设备检测结构，扩大产品检测范围，提升晶圆的单片检查速度。平均动态精度在4nm或4nm以下，匹配-晶圆片指在直径4nm或4nm以下，时间在2秒或以下等要求。

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