开发一套圆晶的检测机器
截止时间：
2020-05-30
行业分类：
仪器仪表
发布时间：2019-05-30
投入预算：200 万元
联系人：徐经理
福建厦门市
需求简介
开发一套圆晶检测机。通过将高度模块化和可扩充的架构与KLA-Tencor创新的暗视野成像Streak技术开发一套圆晶检测机。参数要求：KLA-Tencor Archer 200 AIM Overlay inspection system，12”2010 vintageWafer Size 12"Overlay measurement for ≥32 nm technology nodes
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