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高密度电浆模块技术

交易价格: 面议

所属行业: 纳米及超细材料

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 技术转让

国家:中国

是否金砖国家:

发布时间:2019-10-14

联系人: 林鑫

进入空间

等级:

所在地:福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

技术规格: 电浆密度1011/cm^3,操作功率1~5KW,电浆面积可达900mmx600mm技术特色: 自主开发高密度ICP-CVD电浆镀膜技术,单一腔体连续制备SiOCH复合薄膜,具高阻水气性、殊水硬化特性。应用范围: OLED封装、车灯镀膜、晶圆蚀刻

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