高密度电浆模块技术
交易价格:
面议
所属行业:
纳米及超细材料
类型:
非专利
技术成熟度:
正在研发
交易方式:
技术转让
国家:中国
是否金砖国家:是
发布时间:2019-10-14
联系人:
林鑫
进入空间
等级:
所在地:福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术规格:
电浆密度1011/cm^3,操作功率1~5KW,电浆面积可达900mmx600mm技术特色:
自主开发高密度ICP-CVD电浆镀膜技术,单一腔体连续制备SiOCH复合薄膜,具高阻水气性、殊水硬化特性。应用范围:
OLED封装、车灯镀膜、晶圆蚀刻