制造衍射光学元件的未提供激光技术
技术详细介绍
高效衍射光学元件的发展带来了制造半色调光掩模的基本新任务。
俄罗斯科学院的自动化和电子测量研究所已经开发了在介质上直接激光记录半色调光掩模的方法，其在激光辐射的作用下改变透射系数：LDW玻璃和非晶硅薄膜。
为了实现新技术，开发了圆形激光记录系统（CLS）。 在CLCS中，带有记录材料的基板随着空气静压主轴旋转，氩激光器的聚焦光束（直径0.5μm）沿基板半径以0.1μm的精度移动。 束功率的调制与衬底的旋转同步进行。