表面分析之微区能谱应用技术
技术详细介绍
技术简介：
运用场发射式欧杰电子显微镜(FE-AES)及微区表面化学电子能谱仪(μ-ESCA/XPS)协助表面成分与键结分析。技术规格：
XPS化态分析功能(AnalyserΔE＜25meV)，纵深分辨率1nm；AES化态分析功能(Energy resolution ~0.05%)，纵深分辨率1nm，成份影像分辨率12nm技术特色：
小于10奈米影像分辨率、低能离子纵深分析、高解析之化态分析、绝缘材质分析等。应用范围：
精密元件表面污染、断面分析、故障分析等。