[00998930]MOEMS光开关关键技术的研究
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技术详细介绍
该项目组已完成开关单元的制作，开关单元的插人损耗小于2胡，串话小于50dB，驱动电压小于20V，开关时间小于5ms，寿命大于100万次。该研究方案具有可以同时实现微反射镜的镜面平整垂直、各单元的微镜平面平行等优点，不仅能简化工艺流程，提高成品率，降低制作成本，更重要的是提高光开关的制作精度，降低光损耗，容易做成阵列，易于实现光开关阵列的实用化生产。目前正开展8×8光开关的研制，已基本完成反射镜阵列的制作，并且进行了耦合性能的研究，己取得了初步成果。