[00995830]用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源
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类型:
非专利
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技术详细介绍
该坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片、金属钼炉丝、位于上下两个陶瓷圆环片间的筒状石英玻璃内屏蔽层和筒状不锈钢外屏蔽层组成;炉丝上下回绕,通过另一小陶瓷圆环嵌于两个陶瓷圆环片内;上下两个95#陶瓷圆环片用3个钼螺丝杆连接在一起,炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座上。该蒸发源具有寿命长,终年不需更换和维护,控温性能优越,蒸发速率稳定,保温性能好,同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染,操作方便等优点。
该坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片、金属钼炉丝、位于上下两个陶瓷圆环片间的筒状石英玻璃内屏蔽层和筒状不锈钢外屏蔽层组成;炉丝上下回绕,通过另一小陶瓷圆环嵌于两个陶瓷圆环片内;上下两个95#陶瓷圆环片用3个钼螺丝杆连接在一起,炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座上。该蒸发源具有寿命长,终年不需更换和维护,控温性能优越,蒸发速率稳定,保温性能好,同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染,操作方便等优点。