[00982931]多壁碳纳米管薄膜气敏传感器
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类型:
非专利
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技术详细介绍
一种多壁碳纳米管薄膜气敏传感器,其特征在于:底板为铝板,绝缘层是三氧化二铝层,电极是叉指金电极,气敏层是多壁碳纳米管薄膜。同现有技术比较,本发明具有如下突出优点:
1)以多壁碳纳米管薄膜为气敏层的气敏传感器,苯系气体对气敏层的响应特性特别优异,具有灵敏度高、稳定性好,恢复性强的优点;
2)传感器中的三氧化二铝层和多壁碳纳米管相容性好;
3)己硫醇膜带有活泼的巯基,既可与金电极结合,形成金硫键,加速电子传递,又可活化多壁碳纳米管对苯系气体的吸附性;
4)能在室温下工作,无须配置加热器,无安全隐患,有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化;
5)制造工艺简单,生产成本低。
本传感器特别适用于对苯系气体的检测。
一种多壁碳纳米管薄膜气敏传感器,其特征在于:底板为铝板,绝缘层是三氧化二铝层,电极是叉指金电极,气敏层是多壁碳纳米管薄膜。同现有技术比较,本发明具有如下突出优点:
1)以多壁碳纳米管薄膜为气敏层的气敏传感器,苯系气体对气敏层的响应特性特别优异,具有灵敏度高、稳定性好,恢复性强的优点;
2)传感器中的三氧化二铝层和多壁碳纳米管相容性好;
3)己硫醇膜带有活泼的巯基,既可与金电极结合,形成金硫键,加速电子传递,又可活化多壁碳纳米管对苯系气体的吸附性;
4)能在室温下工作,无须配置加热器,无安全隐患,有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化;
5)制造工艺简单,生产成本低。
本传感器特别适用于对苯系气体的检测。