[00953481]底成本高品质金刚石膜生长技术和热沉应用
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
该项目为“863”新材料领域重大项目，该项目建立低成本高导热金刚石膜的制备方法和制备技术，即用直流热阴极PCVD方法实现高导热大面积金刚石膜的快速生长。采用微波PCVD方法制备大面积高纯金刚石薄膜，满足SOD材料的制备要求。初步解决大尺寸金刚石膜的表面金属化和精密切割等关键技术，基本满足大尺寸金刚石膜热沉实际应用要求。该项目建立和发展的直流热阴极PCVD高质量金刚石厚膜的制备方法和制备技术，已获得国家发明专利，该项技术实现了高品质金刚石膜的快速沉积，为金刚石膜的实际应用及产业化打下了基础。该项目制备的金刚石膜热沉经中科院半导体所工程中心，中科院上海光机所等用户使用，SOD材料经信息产业部电子第四十七研究所等用户使用，均获得较好的应用效果。