[00919599]新一代清洁、节能的大型蒸发镀膜设备
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面议
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类型:
非专利
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技术详细介绍
该项成果采用原创性成果《分子增压泵》+深冷挡板组合,取代大型蒸发镀膜设备的扩散泵和罗茨泵,实现:1.节省抽气能耗80%,年节电38万度/台。2.消除油蒸汽污染,消除膜层泛黄现象,显著提高产品质量。3.一套粗抽机组可供多台镀膜设备共用,节省大量设备费用和占地空间。4.资金回收快,8个月节省的电费就能收回设备改造费用。技术创新:该项成果是国际真空技术的重大突破,开创了具有自主知识产权、清洁、低能耗大型真空蒸发镀膜的新时代。专利情况:该项目已由深圳大学申请国家发明专利,专利名称:真空镀膜设备,申请号:200910107074.4。应用领域:该成果应用于电子与通讯,新材料,高效节能等领域。市场前景:国内市场需求约360台/年,每月量产30台,成本价约100万元/台,国内市场价格为150万元/台。合作方式:协商。
该项成果采用原创性成果《分子增压泵》+深冷挡板组合,取代大型蒸发镀膜设备的扩散泵和罗茨泵,实现:1.节省抽气能耗80%,年节电38万度/台。2.消除油蒸汽污染,消除膜层泛黄现象,显著提高产品质量。3.一套粗抽机组可供多台镀膜设备共用,节省大量设备费用和占地空间。4.资金回收快,8个月节省的电费就能收回设备改造费用。技术创新:该项成果是国际真空技术的重大突破,开创了具有自主知识产权、清洁、低能耗大型真空蒸发镀膜的新时代。专利情况:该项目已由深圳大学申请国家发明专利,专利名称:真空镀膜设备,申请号:200910107074.4。应用领域:该成果应用于电子与通讯,新材料,高效节能等领域。市场前景:国内市场需求约360台/年,每月量产30台,成本价约100万元/台,国内市场价格为150万元/台。合作方式:协商。