[00901909]一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法
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技术详细介绍
本发明涉及钕铁硼永磁体的表面腐蚀防护领域,为解决现有技术下镀防腐蚀层的方法步骤复杂,镀层影响磁性能,镀的单层膜的腐蚀通道相对较短,耐蚀性能较差的问题,公开了一种提高烧结钕铁硼耐腐蚀性能的方法,包括以下步骤：(1)钕铁硼基底预处理；(2)靶材预处理；(3)磁控溅射参数设置；(4)磁控溅射镀膜。本发明中分层溅射更能发挥每层薄膜的优点,中间层薄膜可加强膜基结合力,防腐层薄膜硬度高,抗磨损性能、防腐性能与抗氧化性能好；双层膜较单层膜而言,腐蚀通道更长,防腐蚀效果更好；该表面防护方法对钕铁硼的磁性能影响较小；使用磁控溅射镀膜技术,无污染,薄膜纯度高,致密性、均匀性好。