[00901867]基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器
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技术详细介绍
本发明公开基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器。本发明顶层包括金属补丁、两条微带线和两个SMA连接头；中间层为介质板；底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构、一个内部挖有微流体通道的PDMS；本发明采用楔形状的微带线耦合金属通孔的方法,并且金属化通孔尽可能向里面排布来增强与微带线之间的耦合。另外更为重要的是,为了提高矢量网络分析所呈现的传输曲线的质量因子以及谐振频率频偏的灵敏度,其中必须保证a＝b＝2mm以及d为1mm,从而才能尽可能增强底层金属薄片CSRR结构折线区域的电场。