[00900092]防震型半导体激光有源干涉仪
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技术详细介绍
该项目利用半导体激光器的光发射频率受控于注入电流的特点，可以通过反馈原理将因环境震动干扰所引起的变化干涉信号以光电流的形式反馈到半导体激光器中，从而相应调节光波发射频率，从位相上对原干涉信号进行补偿，实现干涉图样的稳定。采用该技术后，干涉仪抗干扰能力可大幅提高几十倍甚至百倍。其除了能对物体表面粗糙度做到高精度检测外，还能对物体的微振动、微位移及光学元件（如各种凹凸透镜、棱镜等）的微观几何面形、像差、折射率分布等参数进行高精度检测。