[00817977]双离子束直接沉积类金钢石膜工艺
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技术详细介绍
该双离子束直接沉积类金钢石膜工艺的特征为：用双离子束轰击制作混合界面，低能离子束直接沉积类金刚石膜；用低能含碳离子束直接沉积类金刚石膜层，同时用中能Ar<'+>离子束轰击膜层，将碳离子注入到基体表层足够的深度，以混合膜基原子形成能显著提高膜粘结强度的模糊界面，在此过程中两离子束束流进行交替变化，界面混合一定时间后，停止中能离子束轰击，低能含碳离子束继续直接沉积类金刚石膜。该成果通过增加碳注入衬底表层的深度和降低膜应力而增强类金刚石膜的粘结强度，其操作简便，膜质量稳定，能适应工业化生产，应用前景十分广阔。