[00790047]3L系列三极溅射离子泵
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技术详细介绍
溅射离子泵是目前应用最广泛的清洁真空泵，它具有工作压强宽、极限压强低、对惰性气体抽速大、无噪声、无振动、寿命长、操作方便等优点，广泛应用在高能粒子加速器、受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、表面分析仪器及工业生产等方面。该系列产品与过去的同类产品相比，极限真空提高了近一个数量级。其主要技术参数是：极限真空优于７×１０＜′－９＞Ｐａ，抽速２５～６００Ｌ／Ｓ，口径φ３５～２００ｍｍ。现有各种型号产品。