技术详细介绍
阻碍柔性OLED显示实用化的关键问题主要在于空气中的水氧对其产生致命的威胁。研究团队自2008年以来在薄膜包覆领域开展研究，利用薄膜形成阻隔水氧进入器件的阻隔。这种方法使OLED器件更轻薄，寿命更长，机械性能更优异，是OLED器件封装未来的发展方向。我們利用原子层沉积制备了AhCh薄膜封装层。通过研究发现，以臭氧为前驱体制备的AhCh薄膜的性能要比用水作为前驱体并且在低温条件下制备的薄膜更为优越，对于60nm的ALO：薄膜，利用水制备的薄膜的水汽透过率(4.9xio4g/m2day)远高于利用臭氧制备的薄膜的水汽透过率(8.7xio6g/m2day，测试条件：温度20°C,湿度60%)，OLED寿命从而有了显著提高。我们的方法比采用传统方法的封装薄膜性能提高近56倍，该结果在2020年完成了鉴定，为国内有报道的最高水平。
