[00630944]微电子测试结构及其应用和TP-1型测试仪
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技术详细介绍
“微电子测试结构”是半导体工艺诊断和控制所必需的工具。该结构包括薄层电阻测试、金属－半导体接触电阻测试、导电层线宽测试、ＭＩＳ测试、平面四探针测试、掩模套准测试、硅－二氧化硅界面应力测试、晶体管测试、集成测试等九个系列结构，具有通用性，能准确地反映半导体工艺的水平。“ＴＰ－１型测试仪”能按既定程序，对受控的测试结构进行不同方位的电流和电压转换，在将连续测量的数据进行运算后，打印输出结果。该仪器电流源的准确度为０．６％，电压测量准确度为０．２％，打印速度为每秒８－９字。