[00337796]一种微波加热的化学气相沉积设备
交易价格：
面议
所属行业：
有色金属开采冶炼
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过中试
专利所属地：中国
专利号：CN105088194A
交易方式：
资料待完善
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及一种微波加热的化学气相沉积设备，包括：腔体，在所述腔体内设有圆盘形挂架，所述圆盘形挂架的上面设有主轴，所述主轴的上端连接动力装置，所述圆盘形挂架的下面设有转轴，所述转轴通过传动齿轮与主轴连接，所述转轴的下端连接圆柱形基体，所述腔体内壁设有保温层，在所述腔体的底部连接有进气装置，所述进气装置外壁设有水冷夹层、内部设有一个或多个均匀分布的挡板，所述腔体的侧壁连接有喇叭状的波导管。本发明采用微波发生器进行调节微波加热功率，进而调节加热速度和温度，不仅加热效率高，还保证镀膜厚度的准确，所镀的膜厚度均匀、表面光滑。
本发明涉及一种微波加热的化学气相沉积设备，包括：腔体，在所述腔体内设有圆盘形挂架，所述圆盘形挂架的上面设有主轴，所述主轴的上端连接动力装置，所述圆盘形挂架的下面设有转轴，所述转轴通过传动齿轮与主轴连接，所述转轴的下端连接圆柱形基体，所述腔体内壁设有保温层，在所述腔体的底部连接有进气装置，所述进气装置外壁设有水冷夹层、内部设有一个或多个均匀分布的挡板，所述腔体的侧壁连接有喇叭状的波导管。本发明采用微波发生器进行调节微波加热功率，进而调节加热速度和温度，不仅加热效率高，还保证镀膜厚度的准确，所镀的膜厚度均匀、表面光滑。
