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[00333331]平坦化加工装置和单面及双面平坦化加工系统

交易价格: 面议

所属行业: 雕刻切割

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:CN201610917180.9

交易方式: 资料待完善

联系人: 厦门立德软件公司

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产权明晰
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技术详细介绍

本发明公开了一种平坦化加工装置、单面及双面平坦化加工系统,平坦化加工装置包括:多个用于形成多点自旋转阵列磁极的永磁铁,永磁铁同向或异向端面平齐排布,永磁铁通过磁极安装端盖设置于磁极安装盘内,永磁铁对应设于转轴的第一端,磁极安装盘上设有抛光盘,转轴的第二端连接用于驱动永磁铁同步转动的磁极同步转动电机及传动系统;设于抛光盘上的阵列正电极和阵列负电极,阵列正电极、阵列负电极与磁极安装盘三者相互绝缘设置,阵列正电极与阵列负电极连接低频高压方波交变电源;设于抛光盘中的混合有磨料的电磁流变液,电磁流变液在动态磁场与低频高压方波交变电场的耦合作用下形成抛光垫。此装置提高了工件表面的平坦化加工的质量与效率。
本发明公开了一种平坦化加工装置、单面及双面平坦化加工系统,平坦化加工装置包括:多个用于形成多点自旋转阵列磁极的永磁铁,永磁铁同向或异向端面平齐排布,永磁铁通过磁极安装端盖设置于磁极安装盘内,永磁铁对应设于转轴的第一端,磁极安装盘上设有抛光盘,转轴的第二端连接用于驱动永磁铁同步转动的磁极同步转动电机及传动系统;设于抛光盘上的阵列正电极和阵列负电极,阵列正电极、阵列负电极与磁极安装盘三者相互绝缘设置,阵列正电极与阵列负电极连接低频高压方波交变电源;设于抛光盘中的混合有磨料的电磁流变液,电磁流变液在动态磁场与低频高压方波交变电场的耦合作用下形成抛光垫。此装置提高了工件表面的平坦化加工的质量与效率。

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