[00333315]柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法
交易价格：
面议
所属行业：
雕刻切割
类型：
发明专利
技术成熟度：
通过小试
专利所属地：中国
专利号：CN201410424335.6
交易方式：
资料待完善
联系人：
厦门立德软件公司
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所在地：
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-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。
本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。
