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[00333281]一种基于光学反馈的平面气浮工作台及控制方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他机械

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:CN201710321351.6

交易方式: 资料待完善

联系人: 厦门立德软件公司

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产权明晰
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对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台,包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元;本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜,使上面板悬浮在空中并能自由移动;然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作,使上面板快速横向或纵向蠕动;最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线,并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置,从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间,提高平台的相应速度和定位精度。本发明结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。
本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台,包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元;本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜,使上面板悬浮在空中并能自由移动;然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作,使上面板快速横向或纵向蠕动;最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线,并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置,从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间,提高平台的相应速度和定位精度。本发明结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。

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