[00318192]分布式离散设备中央监控处理系统

是否验收

是

有否样品或样机

有

相关评价和证明

项目可行性报告

其他： 系统使用手册

技术成熟程度

已在工业领域或具体企业实际应用、已实现小批量生产

知识产权情况

专利申请号 无

技术成果简介

目前微电子行业的晶圆切割机具有大规模分布式排列特征， 但具体工作特征均为离散单机操作模式， 如此操作模式下在处理运行信息、 报警信息， 以及信息处理和报警消除操作过程中， 由于需要针对每台设备进行到场实际处理和操作， 浪费了大量的人力资源和精力时间。 针对大规模分布晶圆切割机设备的中央监控处理系统分为监视部分和控制部分，其中监视部分工作过程如下： 每台设备的视频图像信号通过视频分线器传给视频发送器；

视频发送器将视频信号以网络形式进行传送， 传送距离可达 200 米以上； 视频接收器接收视频信号并还原； 视频集线设备接收所有设备视频信号信号并依据软件指令进行切换。 控制部分的工作过程如下： 主界面下， 软件周期性的发送查询指令， 各设备的触摸屏综合控制器依次将自己的状态信息通过 RS485 总线发送给控制中心； 控制中心将通过报警灯的不同状态显示设备的当前状态； 双击对应设备的状态灯， 进入控制界面； 控制界面下通过触摸屏点击， 直接产生控制信息， 通过 RS485 总线发送给触摸屏综合控制器； 触摸屏综合控制器将通知信息处理后转发给设备； 设备产生控制动作， 实现在集中监测基础上的相关控制要求。 本系统适用但不限于微电子产业的分布式设备信息的集中监控及自动化改造领域。

技术创新点或优势

实现切割机的集中报警与消警处理， 降低人力成本以及平均劳动强度， 有效提高劳动生产率， 为企业带来可观经济效益。 视频信号传输距离、 视频清晰度、 设备支持灵活度等指标远高于国内外同类产品。 本技术及其系统特别适用于针对大规模分布式设备原有离散监测信息的集中统一监控和信息处理， 并针对设备规模、 空间配置和监控要求适用于有线信息传输监测和无线信息传输监测等多种模式。

技术经济指标

设备端视频传输距离 0~200 米； 最大集中控制设备台数 200 台； 完美支持 DISCO、 TSK等多个品牌切割机的集中控制。

工业领域实际应用情况概述

已在 Amkor 等大型跨国微电子企业得到应用， 应用于 DISCO、 TSK 等品牌切割机的集中报警与消警， 为企业节省了大量的人力资源成本， 大大降低了员工的劳动强度， 得到了企业的高度评价。

服务方式

技术开发