技术详细介绍
本发明公开了一种可剥离衬底的薄膜电容器制备方法。
其工艺步骤为：①在衬底上旋涂一定厚度的聚胺脂胶层，并用紫外光固化；②采用溶胶凝胶或溅射法制备介质层；③采用溅射法制备电极层，并利用激光刻蚀获得图案化电极图层；④再按介质层/电极图层/介质层/电极图层的方式依次制备，并在电容器长边的两端制备端电极，形成叉指结构的单层或多层薄膜电容器；⑤将上述薄膜电容器放入电阻炉，在一定温度进行退火处理，使介质层晶化并烧掉有机层，实现薄膜电容器从衬底上的剥离。
本发明无需使用酸或碱等腐蚀物质即可实现器件与衬底的剥离，具有工艺简单、易于工业化的特点，特别适合于制作各种单层或多层薄膜元器件。