技术详细介绍
本发明涉及一种电子束微细加工设备加速电源装置及控制方法，其装置包括进线滤波器、低压整流桥、逆变单元、高压单元和调节器。
所述进线滤波器的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器的输出端、低压整流桥、逆变单元和高压单元的输入端依次串联。
所述高压单元的高压输出端输出高压电，所述高压单元的信号端输出的高压反馈信号U送至所述调节器的第二输入端。
所述调节器的第一输入端输入高压给定信号U*，所述调节器的输出端与所述逆变单元的信号端连接。
相对现有技术，本发明解决由于PWM变流器工作于电流断续状态导致加速电源输出端出现尖峰电压问题。