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[00300314]一种柔性低压压敏电阻及制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 变压器、稳压器

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201110155887.8

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 杭州电子科技大学

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所在地:浙江杭州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明涉及一种柔性低压压敏电阻及制备方法。现有压敏电阻体积大且不可弯曲,不能应用于柔性可弯曲的设备中。本发明的柔性低压压敏电阻为层状结构,依次包括柔性基板、下电极薄膜、ZnO薄膜和上电极薄膜,上、下电极薄膜表面分别连接有上、下电极引线;所述的柔性基板为PET薄膜,所述的上电极薄膜和下电极薄膜为Pt薄膜。具体制作方法是:在柔性基板一侧表面沉积一层Pt薄膜作为下电极薄膜;通过掩模技术遮挡部分下电极薄膜,在暴露部分沉积一层ZnO薄膜,并压焊下电极引线;在ZnO薄膜上沉积一层Pt薄膜作为上电极薄膜,并压焊上电极引线。本发明方法工艺简单,制作的柔性低压压敏电阻具有独特的柔性、延展性,能够弯曲。
摘要:本发明涉及一种柔性低压压敏电阻及制备方法。现有压敏电阻体积大且不可弯曲,不能应用于柔性可弯曲的设备中。本发明的柔性低压压敏电阻为层状结构,依次包括柔性基板、下电极薄膜、ZnO薄膜和上电极薄膜,上、下电极薄膜表面分别连接有上、下电极引线;所述的柔性基板为PET薄膜,所述的上电极薄膜和下电极薄膜为Pt薄膜。具体制作方法是:在柔性基板一侧表面沉积一层Pt薄膜作为下电极薄膜;通过掩模技术遮挡部分下电极薄膜,在暴露部分沉积一层ZnO薄膜,并压焊下电极引线;在ZnO薄膜上沉积一层Pt薄膜作为上电极薄膜,并压焊上电极引线。本发明方法工艺简单,制作的柔性低压压敏电阻具有独特的柔性、延展性,能够弯曲。

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