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[00294670]一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201420122589.8

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 华南理工大学

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所在地:广东广州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本实用新型涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置,包括:将柔性的衬底平铺输送的输送机构,进行沉积反应的沉积箱,与沉积箱相接的溶液加热循环机构,洗刷衬底的滚筒洗刷机构,烘干衬底的烘干装置;所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本实用新型具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点,属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。
摘要:本实用新型涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置,包括:将柔性的衬底平铺输送的输送机构,进行沉积反应的沉积箱,与沉积箱相接的溶液加热循环机构,洗刷衬底的滚筒洗刷机构,烘干衬底的烘干装置;所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本实用新型具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点,属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。

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