[00292281]钛金属表面原位合成TiC-DLC复合涂层的方法
交易价格:
面议
所属行业:
涂料、颜料、油墨
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:201410276279.6
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
武汉大学
进入空间
所在地:湖北武汉市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种钛金属表面原位合成TiC-DLC复合涂层的方法,将Ti靶置于镀膜室内,并通入烃类气体,对镀膜室抽真空并保持100~400℃温度,采用电弧离子镀使Ti离子从Ti靶蒸发出来,同时利用电弧放电离化烃类气体,从而在Ti靶形成TiC掺杂的DLC复合涂层。本发明采用原位合成技术在Ti靶材表面直接发生化学反应形成复合涂层,可显著提高复合涂层成分的均匀性和涂层结合力,且制备过程简单、成本低廉、效率高,在DLC涂层制备中具有良好的应用前景。
本发明公开了一种钛金属表面原位合成TiC-DLC复合涂层的方法,将Ti靶置于镀膜室内,并通入烃类气体,对镀膜室抽真空并保持100~400℃温度,采用电弧离子镀使Ti离子从Ti靶蒸发出来,同时利用电弧放电离化烃类气体,从而在Ti靶形成TiC掺杂的DLC复合涂层。本发明采用原位合成技术在Ti靶材表面直接发生化学反应形成复合涂层,可显著提高复合涂层成分的均匀性和涂层结合力,且制备过程简单、成本低廉、效率高,在DLC涂层制备中具有良好的应用前景。